當前標簽:潔凈室系列
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潔凈室的發(fā)展與現代工業(yè)、尖端技術密切聯系在一起。由于精密機械工業(yè)(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(yè)(如大規(guī)模集成電路生產)等對環(huán)境的要求,促進了潔凈室技術的發(fā)展。國內曾統(tǒng)計過,在無潔凈級別的要求的環(huán)境下生產MOS電路管芯的合格率僅10
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按氣流的流動狀態(tài)分根據氣流的流動狀態(tài)分,主要有以下三種氣流分布的潔凈室:(1)非單向流潔凈室:以前常稱為亂流型潔凈室,室內的氣流并不都按單一方向流動。非單向流潔凈室有幾個共同的特點:終端過濾器(高效或亞高效)盡量接近潔凈室,它可以就是送
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實現潔凈度要求的通風措施潔凈室要達到潔凈等級,必須有綜合措施,其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實現潔凈等級的根本保證。就空氣潔凈而言,主要有以下幾項具體措施[1]
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潔凈室氣流組織考慮原則(1)當產品要求潔凈度為100級時,選用層流流型;當產品要求潔凈度為1000~100000級時,選用亂流流型。(2)減少渦流,避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。(3)為了防止灰塵的二次飛揚,氣流速度不能過大。亂
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潔凈室的發(fā)展與現代工業(yè)、尖端技術密切聯系在一起。由于精密機械工業(yè)(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(yè)(如大規(guī)模集成電路生產)等對環(huán)境的要求,促進了潔凈室技術的發(fā)展。國內曾統(tǒng)計過,在無潔凈級別的要求的環(huán)境下生產MOS電路管芯的合格率僅10